擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂如何產(chǎn)生的呢?下面小編給大家淺析一下關(guān)于擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫漂如何產(chǎn)生?問(wèn)題,供大家參考學(xué)習(xí),希望對(duì)大家的工作和學(xué)習(xí)有所幫助。
在學(xué)習(xí)和使用壓力傳感器的過(guò)程中,我們經(jīng)常聽(tīng)到“溫漂”這個(gè)詞,那么什么是溫漂,壓力傳感器的溫漂是如何產(chǎn)生的?
溫度漂移:是指由溫度引起的零點(diǎn)不穩(wěn)定性。
擴(kuò)散硅壓力傳感器的溫度漂移主要來(lái)自兩個(gè)方面:
首先是零件本身的溫度漂移;第二是零件本身的溫度漂移。
第二方面是傳感器在膨脹過(guò)程中產(chǎn)生的應(yīng)力。傳感器的核心設(shè)備是壓力芯片。壓力芯片本身對(duì)溫度更敏感,并且會(huì)隨著溫度的變化產(chǎn)生一定程度的漂移。另外,在包裝過(guò)程中,傳感器需要填充硅油,以便將力從壓力膜片傳遞到壓力芯片,硅油在溫度變化,熱膨脹和冷收縮下,導(dǎo)致一定的應(yīng)力,該應(yīng)力作用在壓力芯片上,導(dǎo)致傳感器漂移;芯片和壓力用膠水和傳感器底座連接在一起,由于壓力和傳感器芯片底座是兩種不同的材料,具有不同的膨脹系數(shù),因此兩種材料之間的溫度變化在不同的膨脹系數(shù)下也會(huì)產(chǎn)生一定量的應(yīng)力,導(dǎo)致一定的溫度漂移,這是擴(kuò)散的硅壓力傳感器溫度漂移的主要來(lái)源。
至于在一定程度上減少壓力傳感器的溫度漂移,技術(shù)人員在壓力傳感器的設(shè)計(jì)過(guò)程中,應(yīng)盡量減少充油芯體的體積,以減少充油量,在芯片粘結(jié)壓力的過(guò)程中,嘗試選擇合適的膠水,以減小粘結(jié)應(yīng)力,傳感器基礎(chǔ)材料的選擇,要考慮與芯片壓力,類(lèi)似材料的膨脹系數(shù)有關(guān),從而減少了溫度漂移的產(chǎn)生。
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