造成壓力傳感器誤差的原因有很多,今天我們主要說(shuō)四個(gè)無(wú)法避免的誤差,這是傳感器的初始誤差。希望對(duì)大家的工作和學(xué)習(xí)有所幫助。
一、偏移誤差:由于壓力傳感器的垂直偏移在整個(gè)壓力范圍內(nèi)保持恒定,因此轉(zhuǎn)換器擴(kuò)散的變化和激光調(diào)整校正將產(chǎn)生偏移誤差。
二、是靈敏度誤差:誤差的大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的增加函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的下降函數(shù)。該誤差是由于擴(kuò)散過(guò)程的變化引起的。
三、是線性誤差:這對(duì)壓力傳感器的初始誤差影響很小,該誤差是由硅片的物理非線性引起的,但是對(duì)于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹曲線或凸曲線稱(chēng)重傳感器。
四、磁滯誤差:由于硅晶片的高機(jī)械剛度,在大多數(shù)情況下,壓力傳感器的磁滯誤差可以完全忽略不計(jì)。通常,在壓力變化較大的情況下,僅考慮磁滯誤差。
壓力傳感器的四個(gè)錯(cuò)誤是不可避免的。我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備,并使用高新技術(shù)來(lái)減少這些錯(cuò)誤。我們還可以在交貨時(shí)進(jìn)行一些誤差校準(zhǔn),以盡可能減少誤差,以滿足客戶的需求。
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